金融界2025年4月10日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“一种法拉第筒组件及工艺腔室”的专利，授权公告号CN 222734927 U，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，本申请公开了一种法拉第筒组件及工艺腔室，法拉第筒组件包括：第一筒件，设置于所述工艺腔室内的上部；第二筒件，设置于所述工艺腔室内的下部，并与所述第一筒件间隔设置，以至少暴露所述线圈的一部分。本申请的法拉第筒组件通过采用第一筒件和第二筒件分体式设计，可以避免对线圈的磁场产生屏蔽，削弱ICP放电，导致在提高ICP放电的功率到极限值时依然无法起辉的问题。此外，通过第一筒件和第二筒件可以加强对工艺腔室内的颗粒的吸附，避免陶瓷筒完全暴露于等离子体环境中需要更频繁的清洗的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1011次，财产线索方面有商标信息45条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
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